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西安交通大學選購化學研磨拋光機

更新時間:2022-03-03      點擊次數:1090

“西安交大",中華人民共和國教育部直屬的綜合性研究型全國重點大學

本次實驗室采購的是化學研磨拋光機

適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。


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