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西安交通大學(xué)選購化學(xué)研磨拋光機(jī)

更新時(shí)間:2022-03-03      點(diǎn)擊次數(shù):1088

“西安交大",中華人民共和國教育部直屬的綜合性研究型全國重點(diǎn)大學(xué)

本次實(shí)驗(yàn)室采購的是化學(xué)研磨拋光機(jī)

適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。 

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。
4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。
5、配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動(dòng)研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。


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